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2.研究结果表明，合理地采用【yòng】差【chà】压抽气【qì】技术就可以有效地降低离【lí】子【zǐ】源漏气对离子注入机【jī】真【zhēn】空度造成【chéng】的不利影响【xiǎng】。
3.泵进气口的过滤纲保持清洁,以免抽气速度下降.